발행물
컨퍼런스
2017년 한국진공학회 동계학술대회
2017
,
Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법
Preparation of nano scale crumpled CVD graphene
플라즈마 방식의 MoO3 박막 합성 및 MoO3 습도 센서 제작
ICPT 2016 (International conference on planarization/CMP technology)
2016
Effect of Slurry Additives on Material Removal Rate and Nanoscale Surface Uniformity of Cu Wafers During CMP
Effect of Metal Ion Doping in Ceria Slurry for Chemical Mechanical Planarization