발행물
컨퍼런스
2016년 열공학부문 춘계학술대회
2016
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극초단파를 이용한 과산화수소 플라즈마 멸균시스템 개발
박막형 열전소재의 두께 방향 열전 성능 측정 장비 개발
2016 MRS Spring Meeting
Nanoscale Contaminant Removal Using CO2 Gas Cluster for Semiconductor Device
2016 한국진공학회 동계학술대회
Amorphous carbon layer 증착 중 발생하는 입자의 증착 조건별 특성 분석 characteristic analyses of residual particles generated in amorphous carbon layer deposition
Plasma and Electrostatics Technologies for Environmental Applications (PETEA 2015)
2015
Low Temperature Synthesis of MoS 2 Layer by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)