발행물
컨퍼런스
한국윤활학회 제50회 춘계학술대회
2010
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CMP 공정 중 발생하는 입자 크기와 그 영향에 대한 연구
대한기계학회 열공학부문 춘계학술대회
SiH4 열분해시 실리콘 나노입자의 생성/성장/이동 메커니즘의 수치해석적 규명
제38회 한국진공학회 동계정기학술대회
저압 광산란 입자측정센서 개발 및 성능 평가
SEMICON Korea 2010
Development of CO2 gas cluster cleaning technology
2009 International Conference on Planarization/CMP Technology
2009
Investigation of Micro Scratch Formation Based on the Stick-slip Phenomena