발행물
컨퍼런스
제37회 한국진공학회 하계 정기학술대회
2009
,
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
가스 펄스를 이용한 플라즈마 내 나노입자 합성 및 크기 제어
2009 한국입자에어로졸학회 학술대회
Numerical Study on spatial distribution of Nanoparticles Inside Inhalation Toxicity chamber
CMP 공정용 슬러리 연마입자의 에어로졸화 측정법의 연구
단분산 세리아 입자의 실리콘 표면 파손 특성에 관한 연구