2009

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지하역사 공조설비 적용 자동재생형필터 현황 연구

2009

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메가소닉 세정시 발생하는 패턴 웨이퍼 손상 최소화에 관한 연구

2009

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Synthesis of Si and SiOx Nanoparticles Using Non-Thermal Plasma Technology

2009

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Titanium Nitride 박막 제조를 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자 진단 연구

2009

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The Novel Approach to Detect Chemical Composition of Atmospheric Aerosol Using Thin Film Coated Fiber Optic Sensor