발행물
컨퍼런스
2009 한국입자에어로졸학회 학술대회
2009
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메가소닉 진동자의 형태에 따른 패턴손상에 관한 연구
The 3rd International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology
Optimization of conditioner design for non-porous pad in CMP Process
2009 대한설비공학회 하계학술대회
지하역사 공기조화기용 축류형 사이클론 클러스터의 수치해석적 성능 평가 연구
2009년 한국윤활학회 제48회 춘계학술대회
단분산 세리아 입자의 화학적 기게연마 특성에 관한 연구
2009 한국반도체및디스플레이장비학회 춘계학술대회
매엽식 세정을 위한 메가소닉 진동자의 특성 연구