2007

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Size and concentration control of nanoparticles in plasma using pulsed hydrogen gas

2007

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Formation of Silicon Particles Using Silane Pyrolysis

2007

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상압과 저압에서 열분해법으로 제조된 실리콘 입자 비교

2007

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저압공정 중 발생하는 나노입자의 실시간 측정장비에 관한 연구

2007

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8세대 TFT-LCD 패널 조립 공정 장비 (Vacuum Assembly System) 내의 오염입자 제어에 관한 수치해석적 연구