2007

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펄스 플라즈마에 의한 나노입자 제조시 하전이 입자의 포집에 미치는 영향

2006

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Experimental study of nanoparticle generation during high-density plasma chemical vapor deposition of poly-silicon films

2006

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Measurement of particle size distribution using the particle beam mass spectrometer without deflection voltage scan

2006

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저압 환경에서 실시간 나노입자 측정을 위한 나노입자 포커싱 렌즈 설계

2006

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나노입자 계측 장비 설계를 위한 입자유동해석