김태성 교수 연구실
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전체 특허
단일 열처리로를 이용한 열화학기상증착 장치 및 이를 이용한 전이금속 디칼코게나이드 제조방법
18/618,333
2024.03
수직 형태의 이종 접합 계면이 도입된 금속 촉매 및 이의 제조방법
18/618,539
2024.03
기판 처리 방법 및 장치
10-2024-0029752
2024.02
Method for separating and collecting single aggreagte from fumed silican and method for classifying shape of single aggregate
17/792,891
2024.02
다공성 다가 전이금속 산화물 박막의 제조 방법
PCT/KR2024/000221
2024.01
CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PAD AND CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS INCLUDING THE SAME
17/026,554
2023.11
Heterojunction material and method of preparing the same
17/325,545
2023.08
CMP 슬러리 조성물 및 이의 제조 방법(CMP SLURRY COMPOSITION AND PREPARATION METHOD THEREOF)
10-2566-3840000
2023.08
연마 공정 장치
18/228,481
2023.07
기계적 힘을 이용한 결정질 물질 표면의 선택적 식각방법
10-2023-0070694
2023.06
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