고효율 실시간 입자 측정장치 개발에 관한 연구

2006년 11월 - 2007년 08월

제 8세대용 vacuum assembly 내 입자 제거를 위한 유동 최적화

2006년 11월 - 2007년 04월

Vacuum Assembly System과 Seal/Au Dispenser에 관한 구조 및 유동해석

2006년 06월 - 2007년 06월

저압실시간 나노입자 측정장비를 이용한 반도체공정 중의 오염입자 발생에 관한 연구

2006년 02월 - 2009년 03월

[경기도비]경기도 반도체 인력양성ㆍ기술협력 대학혁신플랫폼

지방자치 지방자치

2024년 08월 - 2025년 07월

[통합EZ]인프라고도화: 초저온 3차원 국소 원자단층 현미경 구축을 통한 3D 미세구조 및 원소분포 분석기술 고도화 1단계 1/3

교육부 한국기초과학지원연구원[통합EZBARO]

2024년 06월 - 2025년 02월

[RCMS]반도체특성화대학원지원(성균관대학교)

산업통상자원부 한국산업기술진흥원

2024년 03월 - 2025년 02월

[e나라도움]첨단분야 혁신융합대학사업(반도체소부장)

교육부 한국연구재단[E나라도움]

2024년 03월 - 2025년 02월

[통합EZ]수전해 전극 공정을 위한 저온 플라즈마 기초연구실

과학기술정보통신부 한국연구재단[통합EZBARO_A002]

2024년 03월 - 2025년 02월

[RCMS]CMP 경시성 없는 PADDISK 개발 및 공정 기술 제안

산업통상자원부 한국산업기술기획평가원

2024년 - 2024년 12월