Convergence and Hybridization On IC System Laboratory
인하대학교 본교(제1캠퍼스)최리노 교수 신소재공학과
Materials Science and Engineering
재료/신소재공학
연구실 소개
Convergence and Hybridization On IC System Laboratory는 신소재공학과에 속한 연구실로, 주로 CMOS 확장, 메모리 응용, 금속 산화물 박막 트랜지스터, 저온 결정화, 새로운 센서 세대 제작을 연구하고 있습니다. 최근 3년간 저온 레이저 결정화를 통한 Ge 층 성장, Pt 입자 크기가 지르코늄 하프늄 산화물의 강유전 특성에 미치는 영향, 단일 펄스 충전 펌핑 방법을 이용한 플로팅 바디 트랜지스터의 결함 특성화 등 다수의 논문을 발표하였습니다. 또한, 그래핀 제조 방법, 저온 공정 기술을 위한 소스와 드레인 컨택 구조 등 여러 특허를 보유하고 있습니다. 이러한 연구를 통해 다양한 기업과의 R&D 프로젝트에서 협력할 준비가 되어 있습니다.
CMOS 확장
메모리 응용
금속 산화물 박막 트랜지스터
저온 결정화
센서 세대
연구 분야
저온 레이저 열처리를 통한 산화물 반도체 결정화 연구레이저 열처리를 이용한 저온 결정화 기술은 산화물 반도체의 전기적 특성과 안정성을 향상시키는 중요한 연구 분야입니다. 이 방법은 기존의 고온 처리 공정을 대체할 수 있는 저온 공정으로, 산화물 반도체의 결정화를 촉진하고 전하 이동성을 개선하는 데 기여합니다. 특히, 이 기술은 다양한 반도체 소자와 통합될 수 있어 차세대 고성능 전자기기의 개발에 중요한 역할을 할 것으로 기대됩니다.
Indium Zinc Oxide의 저온 결정화 및 전기적 특성 향상 연구알칼리 금속 도핑을 통해 Indium Zinc Oxide(IZO)의 저온 결정화와 전기적 특성을 향상시키는 연구는 신소재공학과에서 중점적으로 다루는 분야입니다. 이 연구는 저온에서 IZO의 결정화를 촉진하여 전하 이동도를 증가시키고, 소자의 신뢰성을 높이는 것을 목표로 합니다. 나노초 자외선 레이저 어닐링 기술을 활용하여 단일 소자의 결함을 최소화하고, 고유한 전기적 성능을 유지하며, 다양한 전자 소자에 응용할 수 있는 가능성을 열어줍니다.
주요 논문
1
Low-temperature laser crystallization of Ge layers grown on MgO substrates
Jongyeon Baek, Seung-Hwan Kim, Heejae Jeong, Manh-Cuong Nguyen, DaeyoonBaek, Seunghun Baik, AnHoang-Thuy Nguyen, Jong-Hwa Baek, Hyung-jun Kim, Hyuk-Jun Kwon, Rino Choi
Applied Surface Science
2023
2
Impact of Pt grain size on ferroelectric properties of zirconium hafnium oxide by chemical solution deposition
An Hoang-Thuy Nguyen, Manh-Cuong Nguyen, Anh-Duy Nguyen, Ji-Yong Yim, Jeong-Han Kim, No-Hwal Park, Seung-Joon Jeon, Daewoong Kwon, Rino Choi
Nano Convergence
2022
3
Defect Characterization in Floating Body Transistors using a Single Pulse Charge Pumping Method
Manh-Cuong Nguyen, An Hoang-Thuy Nguyen, Jiyoung Yim, Anh-Duy Nguyen, Mingyu Kim, Jeonghan Kim, Jongyeon Baek
Journal of Vacuum Science & Technology B
2021
4
Low-temperature dopant activation using nanosecond ultra-violet laser annealing for monolithic 3D integration
Jin-Hyun Kim, Hyoung-Min Ji, Manh-Cuong Nguyen, An Hoang-Thuy Ngueyn, Sang-Woo Kim, Jongyeon Baek, Jiyoung Kim, Rino Choi
Thin Solid Films
2021
5
Double-gate thin film transistor with suspended-gate applicable to tactile force sensor
An Hoang-Thuy Nguyen, Manh-Cuong Nguyen, Seongyong Cho, Anh-Duy Nguyen, Hyewon Kim
Nano Convergence
2020
Convergence and Hybridization On IC System Laboratory
인하대학교 본교(제1캠퍼스) 신소재공학과
최리노 교수
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