초정밀 나노 시스템 연구실(UPNS)

인하대학교 본교(제1캠퍼스)
이은상 교수 기계공학과

Materials Science and Engineering

재료/신소재공학

연구실 소개

초정밀 나노 시스템 연구실(UPNS)은 기계공학과에 소속된 연구실로, 주로 웨이퍼 최종 연마, 나노 기술, 전해 연마, 전해 디버링 등의 연구를 수행하고 있습니다. 연구실은 지난 3년간 다양한 프로젝트를 통해 높은 수준의 연구 성과를 달성해 왔습니다. 특히 웨이퍼 최종 연마 분야에서의 연구는 업계에서도 높은 평가를 받고 있으며, 나노 기술과 전해 연마 기술을 접목한 혁신적인 연구도 진행 중입니다. 연구실은 또한 다양한 학술 논문과 컨퍼런스 발표를 통해 연구 결과를 공유하고 있으며, 기업과의 협업을 통해 실질적인 R&D 프로젝트를 수행하고 있습니다.

웨이퍼 최종 연마

나노 기술

전해 연마

전해 디버링

연구 분야

웨이퍼 최종 연마 기술

초정밀 나노 시스템 연구실(UPNS)은 웨이퍼 최종 연마 기술 분야에서 선도적인 연구를 진행하고 있습니다. 웨이퍼 연마는 반도체 제조 공정에서 중요한 단계로, 높은 정밀도와 품질을 요구합니다. 본 연구실은 나노 기술을 접목하여 웨이퍼 표면의 미세 결함을 최소화하고, 연마 속도와 효율성을 향상시키기 위한 다양한 기술을 개발하고 있습니다. 또한, 전기 연마(Electropolishing, EP)와 전해 디버링(Electrolytic Deburring, ECD) 기술을 활용하여 표면의 불순물 제거와 정밀 가공을 동시에 수행함으로써, 반도체 웨이퍼의 품질을 획기적으로 향상시키고 있습니다. 이러한 연구는 반도체 산업에서 경쟁력을 유지하고, 보다 높은 수준의 기술력을 제공하는 데 크게 기여할 것입니다.