본 연구에서는 NIH/3T3 세포를 이용하여 성장 및 약물 반응을 실시간으로 모니터링할 수 있는 임피던스 바이오센서를 반도체 공정으로 제작하였다. 제작된 임피던스 바이오센서를 이용하여 세포 성장 및 약물 반응 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있었으며, 이는 개발된 바이오센서의 유효성을 보여준다. 개발된 임피던스 바이오센서를 사용하여 전극 위에 존재하는 NIH/3T3 세포와 전극 사이에 존재하는 NIH/3T3 세포의 축전용량 기여도를 조사하였다. 전극 위 및 전극 사이에 존재하는 세포의 축전용량 값 기여도를 비교하기 위해, 각각 3.7 mm 및 0.3 mm의 전극 간격을 갖는 광폭 및 협폭 갭 전극 패턴을 제작하였다. 상세 분석 결과, 전극 위에 존재하는 NIH/3T3 세포의 축전용량 기여도는 전극 사이에 존재하는 세포에 비해 20% 미만 수준으로 추정되었다. 즉, 전극 면적은 최소화하고 전극 간격은 최대화하는 것이 정확한 세포 축전용량 측정을 위한 유망한 임피던스 바이오센서 설계 지침이다.

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