우리는 통합 양자 포토닉 회로를 위한 하이브리드 Si 3 N 4 –LiNbO 3 플랫폼에 다양한 광학 소자를 제작하고, 홍–우–만(Hong–Ou–Mandel, HOM) 양자 간섭을 관측하였다. 스트립 적재(strip-loaded) 도파로는 LiNbO 3 상에 Si 3 N 4 증착을 통해 준비하였다. 그 결과, 링 공진기, 다양한 빔 스플리터, 마흐–젠더(Mach–Zehnder) 간섭계와 같은 양자 포토닉스의 기본 빌딩 블록을 제작하고 시험하였다. 50:50 빔 스플리터를 사용하여 HOM 양자 간섭을 관측하였으며, 우연 계수(accidental counts)를 보정한 후 가시도 96.6 ± 1.2%를 달성하였다. 제안된 하이브리드 플랫폼을 이용하면 보다 고급의 양자 집적 소자를 구현할 수 있을 것으로 기대된다.
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