우리는 lithium niobate-on-insulator 광자 플랫폼에서 3차원 모드 크기 변환기를 제작하여 효율적인 에지 커플러를 시연한다. 3차원 모드 크기 변환기는 식각 공정을 사용하여 제작되며, Si 외부 마스크를 사용하여 높이 변화를 제공하고, 리소그래피를 통해 테이퍼링 패턴을 적용하여 폭 변화를 조절한다. 렌즈형 섬유(lensed fibers)를 사용하여 1550 nm 파장에서 3차원 모드 크기 변환기를 통한 측정 에지 결합 효율은 TE 모드에서 약 1.16 dB/facet, TM 모드에서 약 0.71 dB/facet였다.

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