본 발명은 그루브가 형성된 상층패드 및 상기 상층패드의 하부에 위치하는 하층패드를 구비하는 연마패드로서, 상기 연마패드는 식 1로 표시되는 Cp의 값이 0.10 내지 1.3인, 연마패드를 제공한다.
청구항
번호
청구항
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그루브가 형성된 상층패드 및 상기 상층패드의 하부에 위치하는 하층패드를 구비하는 연마패드로서,상기 연마패드는 하기 식 1로 표시되는 Cp의 값이 0.10 내지 1.3이고,상기 하층패드는 압축률이 2 내지 8 %인 것을 특징으로 하는, 연마패드.[식 1]Cp = 압축율 x 두께 변화율/100