본 발명은 검사 대상물의 불량을 검사하는 프로브 카드와, 검사 대상물에 접촉하는 프로브 카드용 프로브 핀과, 프로브 핀이 삽입되어 프로브 핀을 가이드하는 프로브 카드용 가이드 플레이트와, 이들의 제조 방법에 관한 것으로서, 특히, 프로브 핀이 상부 가이드홀로부터 하부로 이탈되는 것을 방지하고, 검사 대상물을 프로브 핀에 접촉시 프로브 핀들끼리 접촉되는 것을 방지하거나, 프로브 핀들끼리 접촉되어 파손 또는 검사 오류가 발생하는 것을 방지할 수 있고, 프로브 핀의 일측이 가이드홀의 내측면에 접촉되어 마찰에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 프로브 핀과 검사 대상물이 접촉할 때, 프로브 핀의 휘어짐을 제어할 수 있고, 상, 하부 가이드 플레이트에 프로브 핀을 쉽게 삽입할 수 있고, 프로브 핀을 쉽게 제조할 수 있는 프로브 카드, 프로브 카드용 프로브 핀, 프로브 카드용 가이드 플레이트 및 이들의 제조 방법에 관한 것이다.