윌테크놀러지(주)
그룹화된 니들유닛을 갖는 반도체 검사장치
Semiconductor inspection equipment having grouped needle units
특허 요약
본 발명은 그룹화된 니들유닛을 갖는 반도체 검사장치에 관한 것으로서, 일측에 복수개의 제1 삽입공이 형성된 상부 가이드 플레이트와, 상기 상부 가이드 플레이트의 하방으로 일정간격 이격배치되고, 일측에 복수개의 제2 삽입공이 형성된 하부 가이드 플레이트와, 상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트 사이에 개재되는 스페이서 및 상기 제1 삽입공 및 상기 제2 삽입공에 삽입되어 상하단부 일측이 각각 상기 상부 가이드 플레이트의 내면 및 상기 하부 가이드 플레이트의 내면에 지지되어 상기 검사대상물이 접근하는 경우 하단부가 상기 검사대상물의 일측에 접촉되는 니들유닛을 복수개 포함하되, 상기 니들유닛은 일측으로부터 외측방향으로 연장형성되어 탄성을 갖는 연결날개를 포함하고, 이웃하는 니들유닛 중 동일한 기능을 수행하는 니들유닛의 일측에 상기 연결날개가 탄성접촉되는 것을 특징으로 하는 그룹화된 니들유닛을 갖는 반도체 검사장치를 제공한다. 상기와 같은 본 발명에 따르면, 연결날개가 이웃하는 니들유닛의 일측에 연결되어 동일 기능을 갖는 니들유닛들을 그룹화함으로써 전기 접촉 불량, 공간효율성, 노이즈, 고주파 특성 등 다양한 전기적 특성을 개선할 수 있고, 제조가 용이하게 이루어질 수 있으면서도 내구수명이 크게 증대되는 효과가 있다.
청구항
번호청구항
1

검사대상물에 접촉되어 상기 검사대상물로부터 전달되는 전기적 신호를 외부의 테스트 장비로 전달하는 반도체 검사장치에 있어서,일측에 복수개의 제1 삽입공이 형성된 상부 가이드 플레이트와;상기 상부 가이드 플레이트의 하방으로 일정간격 이격배치되고, 일측에 복수개의 제2 삽입공이 형성된 하부 가이드 플레이트와;상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트 사이에 개재되는 스페이서; 및상기 제1 삽입공 및 상기 제2 삽입공에 삽입되고, 상하단부 일측이 각각 상기 상부 가이드 플레이트의 내면 및 상기 하부 가이드 플레이트의 내면에 지지되어 상기 검사대상물이 접근하는 경우 하단부가 상기 검사대상물의 일측에 접촉되는 니들유닛을 복수개 포함하되,상기 니들유닛은 일측으로부터 외측방향으로 연장형성되어 탄성을 갖는 연결날개를 포함하고, 이웃하는 니들유닛 중 동일한 기능을 수행하는 니들유닛의 일측에 상기 연결날개가 탄성접촉되는 것을 특징으로 하는 그룹화된 니들유닛을 갖는 반도체 검사장치.