| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 검사대상물에 접촉되어 상기 검사대상물로부터 전달되는 전기적 신호를 외부의 테스트 장비로 전달하는 반도체 검사장치에 있어서,일측에 복수개의 제1 삽입공이 형성된 상부 가이드 플레이트와;상기 상부 가이드 플레이트의 하방으로 일정간격 이격배치되고, 일측에 복수개의 제2 삽입공이 형성된 하부 가이드 플레이트와;상기 상부 가이드 플레이트와 상기 하부 가이드 플레이트 사이에 개재되는 스페이서; 및상기 제1 삽입공 및 상기 제2 삽입공에 삽입되고, 상하단부 일측이 각각 상기 상부 가이드 플레이트의 내면 및 상기 하부 가이드 플레이트의 내면에 지지되어 상기 검사대상물이 접근하는 경우 하단부가 상기 검사대상물의 일측에 접촉되는 니들유닛을 복수개 포함하되,상기 니들유닛은 일측으로부터 외측방향으로 연장형성되어 탄성을 갖는 연결날개를 포함하고, 이웃하는 니들유닛 중 동일한 기능을 수행하는 니들유닛의 일측에 상기 연결날개가 탄성접촉되는 것을 특징으로 하는 그룹화된 니들유닛을 갖는 반도체 검사장치. |