특허 요약
실시예에 따르면, 유기전계발광 표시장치의 제조 방법은, 기판 상에 제1 및 제2 반도체 패턴을 형성하고, 기판 상에 제1 절연막, 도전막 및 제1 금속막을 형성하고 패터닝하여 제1 및 제2 게이트 전극, 제2 스토리지 전극 및 제1 전극과 금속 패턴의 이중층을 형성하고, 제1 및 제2 게이트 전극을 마스크로 하여 이온 도핑을 수행하여 제1 및 제2 반도체 패턴으로부터 제1 및 제2 반도체층 및 제1 스토리지 전극을 형성하고, 기판 상에 다수의 콘택홀과 개구부를 포함하는 제2 절연막을 형성하며, 제2 절연막 상에 제2 금속막을 형성하고 패터닝하여 제1 및 제2 소오스 전극 및 제1 및 제2 드레인 전극을 형성한다. 이중층에서 제2 드레인 전극과 연결되는 제1 전극 상에 금속 패턴은 제거된다.
청구항
번호청구항