특허 요약
본 발명은 유기발광다이오드 표시장치에 관한 것으로서, 스토리지 마스크를 제거하여 포토 공정 수를 줄일 수 있는, 유기발광다이오드 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. 이를 위해 본 발명에 따른 유기발광다이오드 표시장치 제조 방법은, 제1마스크를 이용하여 버퍼층에 복수의 액티브를 형성하는 단계; 상기 복수의 액티브가 형성된 버퍼층 상단에, 절연막과 투명전극금속과 게이트금속을 적층한 후, 제2마스크를 이용하여 상기 투명전극금속과 상기 게이트금속을 에칭하여 복수의 게이트를 형성하는 단계; 상기 복수의 게이트 상단을 층간 절연막으로 도포한 후, 제3마스크를 이용하여, 스토리지캐패시터부와 픽셀전극부의 게이트를 노출시키며, 소스가 연결될 소스컨택홀 및 드레인이 연결될 드레인컨택홀을 형성하는 단계; 제4마스크를 이용하여, 상기 층간 절연막 상에 소스와 드레인을 형성하고, 상기 스토리지캐패시터부를 도핑하는 단계; 및 제5마스크를 이용하여 상기 소스와 드레인 상단에 뱅크와 스페이서를 형성시키는 단계를 포함한다.