본 발명은 반도체 디바이스의 전기적 특성을 검사할 때 사용되는 프로브 카드에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 고전압 인가시에 스파크가 발생하는 문제를 개선하기 위한 프로브 카드에 관한 것이다. 본 발명은, 반도체 웨이퍼 상에 형성된 반도체 디바이스의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로브 카드로서, 복수의 프로브 핀들이 배치되는 프로브 배치 영역과, 상기 프로브 배치 영역둘레의 외부 영역을 구비하며, 상기 외부 영역의 반도체 웨이퍼를 향하는 면에 링 형태의 가스 유로가 형성된 프로브 블록과; 상기 가스 유로에 가스를 공급하도록 구성된 가스 공급 라인과; 상기 외부 영역의 반도체 웨이퍼를 향하는 면에 결합되며, 상기 가스 유로와 연통된 복수의 벤트 홀들이 형성된 링 형태의 벤트 홀 플레이트를 포함하며, 상기 벤트 홀은 상기 벤트 홀을 통해서 가스가 배출되면, 상기 프로브 배치 영역의 공기가 바깥쪽으로 빨려 나가 상기 프로브 배치 영역의 압력을 낮추도록 경사진 스파크 발생 억제 기능을 구비한 프로브 카드를 제공한다.