내부에 유체가 주입된 유로가 형성되며, 발열 소스의 열을 확산시키는 냉각 베이퍼 챔버에 있어서,상기 유로의 상부에 배치되는 상판;상기 상판의 하부에서 상기 상판에 마주하고, 상기 유로의 하부에 배치되는 하판;상기 상판과 상기 하판을 결합하는 결합부;를 포함하고,상기 결합부는,상기 상판의 하부면에서 하방으로 돌출되는 수돌기;상기 하판의 상부면에서 상방으로 돌출되고, 상기 수돌기의 적어도 일부가 삽입되는 암돌기를 포함하며,상기 수돌기는 상기 베이퍼 챔버의 측벽을 형성하고,상기 암돌기는 상기 수돌기의 양측에서 상기 베이퍼 챔버의 측벽을 형성하고,상기 결합부는,상기 유로의 외둘레를 따라 연장되고, 상기 유로를 외부로부터 밀폐시키는 외벽;상기 외벽의 내측에 배치되고, 상기 유로의 일부를 구획하여 순환 유로를 형성하는 내벽을 포함하고,상기 수돌기의 길이는 상기 암돌기보다 짧게 형성되며, 폭은 암돌기의 홈부 간격보다 작게 형성되어 암돌기의 홈부에 접착제가 도포되는 것을 특징으로 하는 베이퍼 챔버.

제 3항에 있어서,상기 도금법은,상기 상판은 상부구리판의 하부에 드라이필름과 패턴필름을 부착하고 자외선을 조사하는 노광단계와;현상액을 도포하여 상기 수돌기가 형성되는 부위의 드라이필름을 제거하는 현상단계와;상기 드라이필름이 제거된 부위를 구리도금 하는 도금단계 및 드라이필름을 완전 제거하는 박리단계인 것을 특징으로 하는 베이퍼 챔버.

제 3항에 있어서,상기 에칭법은,하판은 하부구리판의 상부에 드라이필름과 패턴필름을 부착하고 자외선을 조사하는 노광단계;현상액을 도포하여 상기 암돌기를 제외한 부위의 드라이필름을 제거하는 현상단계와;에칭액을 도포하여 드라이필름이 제거된 부위의 하부구리판을 에칭하는 에칭단계 및 드라이필름을 완전 제거하는 박리단계인 것을 특징으로 하는 베이퍼 챔버.

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제 1항에 있어서,상기 베이퍼 챔버는 유로가 형성되는 챔버몸체와, 상기 챔버몸체의 일측에 돌출되는 물유입구로 이루어지는 것을 특징으로 하는 베이퍼 챔버.

제 1항에 있어서,상기 유로는 상류의 단면적이 넓고, 하류의 단면적이 좁게 형성되어 유체는 유로를 따라 상하대류 및 유로순환되는 것을 특징으로 하는 베이퍼 챔버.

제 1항에 있어서,상기 하판의 상부에 배치되고, 상기 유체가 모세관 현상에 의해 유동하도록 다공성 구조를 갖는 윅(wick)이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 베이퍼 챔버.

제 1항에 있어서,상기 암돌기는 수돌기를 중심으로상기 수돌기의 내측에 형성되는 내측돌기와,상기 수돌기의 외측에 형성되는 외측돌기로 이루어지며,상기 내측돌기의 높이는 상기 외측돌기의 높이보다 낮은 것을 특징으로 하는 베이퍼 챔버.

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제 1항에 있어서,상기 수돌기를 포함하는 상판은 도금법으로 제작되고, 상기 암돌기를 포함하는 하판은 에칭법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 베이퍼 챔버.

내부에 유체가 주입된 유로가 형성되며, 발열 소스의 열을 확산시키는 냉각 베이퍼 챔버에 있어서,상기 유로의 상부에 배치되는 상판;상기 상판의 하부에서 상기 상판에 마주하고, 상기 유로의 하부에 배치되는 하판;상기 상판과 상기 하판을 결합하는 결합부;를 포함하고,상기 결합부는,상기 상판의 하부면에서 하방으로 돌출되는 수돌기;상기 하판의 상부면에서 상방으로 돌출되고, 상기 수돌기의 적어도 일부가 삽입되는 암돌기를 포함하며,상기 수돌기는 상기 베이퍼 챔버의 측벽을 형성하고,상기 암돌기는 상기 수돌기의 양측에서 상기 베이퍼 챔버의 측벽을 형성하고,상기 결합부는,상기 유로의 외둘레를 따라 연장되고, 상기 유로를 외부로부터 밀폐시키는 외벽;상기 외벽의 내측에 배치되고, 상기 유로의 일부를 구획하여 순환 유로를 형성하는 내벽을 포함하고,상기 수돌기의 길이는 상기 암돌기보다 짧게 형성되며, 폭은 암돌기의 홈부 간격보다 작게 형성되어 암돌기의 홈부에 접착제가 도포되는 것을 특징으로 하는 베이퍼 챔버.