본 발명의 규소-이산화규소계 소결체는, 규소 입자 및 이산화규소 분말을 포함하며, 밀도가 0.7 내지 2.0 g/cm 3 , BET 비표면적이 1.0 내지 200 m 2 /g 및 평형 함수율이 0.5% 이하이다. 본 발명에 의하면, 안정된 물성의 일산화규소를 효율적으로 제조할 수 있고, 특히 연속 생산을 가능하게 할 수 있는 저렴하고 효율적인 규소-이산화규소계 소결체, 이의 제조방법, 이를 이용하여 제조되는 일산화규소 분말을 포함하는 리튬 이온 전지용 음극 활물질, 및 가스 배리어 필름을 제공할 수 있다.