기판이 장착되는 회전 테이블;상기 회전 테이블의 회전 중심과 동심을 이루는 회전부; 및상기 기판을 지지하는 척핀;을 포함하며상기 회전 테이블은,상기 기판과 마주하는 표면으로부터 상방으로 돌출되는 돌출부를 포함하며,상기 척핀은,상기 돌출부가 상기 척핀에 인입되는 형태로 상기 돌출부에 결합되고,상기 돌출부는,상기 회전 테이블에서 상기 기판과 마주하는 표면과 일체로 마련되고, 상기 돌출부는,상기 표면과 동일한 재질로 형성되고 상기 표면에 대해 수직하게 마련되며,내면과 외면에서 동시에 상기 척핀과 맞닿게 결합하고,상기 돌출부는,상기 회전 테이블과 일체 형성되며 상기 회전 테이블에 대해 상방으로 수직하게 돌출되는 제1 돌출부; 및상기 회전 테이블 및 상기 제1 돌출부와 일체 형성되며, 상기 제1 돌출부에서 하방으로 연장되는 제2 돌출부;를 포함하며,상기 제2 돌출부는,내면은 상기 척핀을 둘러싸고 외면은 상기 기판이 장착되는 상기 회전 테이블의 일면에 형성되는 개구에 의해 둘러쌓인 척 어셈블리.