본 발명은 기판증착장비의 정전척 기판 흡착유무 감지방법에 관한 것으로, 본 발명은 정전척에 전원을 공급하지 않고 대기하는 단계; 상기 정전척에 기판을 흡착하기 위한 전압을 세팅하는 단계; 상기 정전척에 세팅된 전압을 온(on)하여 공급하는 단계; 상기 정전척에 세팅된 전압을 설정된 초기시간 동안 공급한 후 그 공급된 전압을 설정된 체크시간 동안 오프(off)시키는 단계; 상기 체크시간 동안의 잔류전압과 제1 기준전압을 비교하여 상기 정전척에 기판이 부착되었는지를 판단하는 단계; 상기 정전척에 기판이 부착된 것으로 판단되면 정전척에 세팅된 전압을 온(on)하여 공급하는 단계; 상기 정전척에 부착된 기판에 처리공정을 진행하는 단계; 상기 정전척에 부착된 기판에 처리공정이 완료되면 정전척에 공급되는 전압을 오프(off)시켜 정전척으로부터 기판을 분리시키는 단계:를 포함한다. 본 발명에 따르면, 챔버 내부에 구비된 정전척에 기판이 로딩되어 있는지에 대한 여부를 쉽고 간단하게 감지한다.