이너센서(Inner Sensor co.,Ltd)
접촉 연소식 가스 센서용 감지 소자 및 이를 포함하는 접촉 연소식 가스 센서
SENSING DEVICE FOR A CATALYTIC COMBUSTION TYPED GAS SENSOR AND CATALYTIC COMBUSTION TYPED GAS SENSOR INCLUDING THE SAME
특허 요약
접촉 연소식 가스 센서용 감지 소자는, 기판, 상기 기판 상에 형성되고, 상기 기판을 전기적으로 절연시키는 절연막 및 상기 절연막 상에 배치되며, 노출된 감지 가스가 산소 가스와 선택적으로 반응하여 발열하는 발열 반응에 대하여, 외부로부터 공급되는 전원에 의하여 발열하는 발열체로서 및 촉매로서 기능하는 발열 촉매 패턴부를 포함한다. 이로써, 별도의 촉매층이 생략될 수 있다.
청구항
번호청구항
1

기판; 상기 기판 상에 형성되고, 상기 기판을 전기적으로 절연시키는 절연막; 및상기 절연막 상에 감지 가스와 접촉할 수 있도록 단일막으로 배치되며, 접촉하는 감지 가스가 산소 가스와 선택적으로 반응하여 발열하는 발열 반응에 대하여, 외부로부터 공급되는 전원에 의하여 발열하는 발열체로서 및 상기 발열 반응에 대한 촉매로서 복수로 기능하는 발열 촉매 패턴부;를 포함하는 접촉 연소식 가스 센서용 감지 소자.