| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 롤투롤 방식으로 전극판을 건조하고, 상기 전극판을 공급하는 공급영역, 상기 전극판을 건조하는 건조영역 및 상기 전극판을 권취하는 권취영역을 포함하는 챔버;상기 공급영역 및 상기 건조영역을 구분하는 공급측 격벽;상기 건조영역 및 상기 권취영역을 구분하는 권취측 격벽;상기 공급측 격벽 또는 상기 권취측 격벽 또는 양 격벽 중의 어느 하나에 설치되어, 상기 전극판에 함유된 수분 및 용매를 신속하게 제거하기 위한 보조건조부; 및상기 챔버의 외부에 배치되어, 상기 챔버 내부에 고진공도를 형성하는 고진공라인을 포함하고,상기 고진공라인은 콜드트랩을 포함하며, 상기 보조건조부는 마이크로파 발생기 및 산소 플라즈마 발생기를 포함하고, 상기 산소 플라즈마 발생기는 상기 마이크로파 발생기에 의해 상기 전극판에서 수분을 방출하면, 상기 수분을 수소기체(H2) 및 오존가스(O3)로 변환시켜 제거하는 것을 특징으로 하는 콜드트랩이 적용된 건조공정을 활용한 전극판 제조장치. |