| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 대면적 유연 몰드의 제조방법으로서,a) 기판 상에 제1 경화성 물질을 제공하는 단계;b) 상기 제1 경화성 물질을 마스터 몰드로 스템핑하는 단계;c) 상기 스템핑된 제1 경화성 물질을 경화시켜 제1 유연 몰드를 제조하는 단계;d) 상기 제1 유연 몰드의 일단부와 일정 거리 이격하여 제2 경화성 물질을 제공하는 단계;e) 상기 제1 유연 몰드의 일단부와 500 nm 이하로 겹치면서 제2 경화성 물질을 덮도록 마스터 몰드를 위치시키는 단계;f) 상기 마스터 몰드를 롤러로 가압하는 단계; 및g) 상기 마스터 몰드를 제거하고 상기 제2 경화성 물질을 경화시켜 제2 유연 몰드를 제조하는 단계를 포함하고,상기 제2 경화성 물질은 평형 확장 계수(Seq)가 음수인, 대면적 유연 몰드의 제조방법. |
| 2 | 제1항에 있어서,상기 제조방법은 단계 d 내지 단계 g를 반복하여 대면적 유연 몰드를 제조하는, 대면적 유연 몰드의 제조방법. |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 제1 경화성 물질 및 제2 경화성 물질은 폴리우레탄아크릴레이트(PUA), 폴리에틸렌 글리콜(PEG), 퍼플루오로폴리에테르(PFPE), SU-8 포토레지스트 및 폴리디메틸실록산(PDMS)으로 이루어진 군에서 선택된 1종인, 대면적 유연 몰드의 제조방법. |
| 4 | 제3항에 있어서,상기 제1 경화성 물질과 제2 경화성 물질은 동일한 물질인, 대면적 유연 몰드의 제조방법. |
| 5 | 제1항에 있어서,상기 단계 e에서 상기 제1 유연 몰드와 200 nm 이하로 겹치도록 마스터 몰드를 위치시키는, 대면적 유연 몰드의 제조방법. |
| 6 | 제1항에 있어서,상기 단계 d에서 상기 제1 유연 몰드와 제2 경화성 물질 사이의 거리(r)는 하기 수학식 1에 따르는, 대면적 유연 몰드의 제조방법:[수학식 1](여기에서, V는 제2 경화성 물질의 부피임). |
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