극성별로 아크를 검지하여 타겟 소스 이용률을 향상시키고 출력 비율 조정을 통해 효율적으로 운용이 가능한 듀얼 펄스 출력 장치, 방법 및 프로그램에 관한 것으로, 포지티브 극성의 타겟으로 제1 출력 신호를 인가하고, 네거티브 극성의 타겟으로 제2 출력 신호를 인가하는 출력 신호 생성부, 상기 제1 출력 신호와 제2 출력 신호를 기반으로 극성별 아크 발생을 검지하는 아크 검지부, 및 상기 아크 검지부의 검지 신호를 기반으로 상기 출력 신호 생성부를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 아크 검지부의 검지 신호를 기반으로 아크 발생 극성을 판별하고, 상기 판별된 아크 발생 극성으로 인가되는 출력 신호를 차단하도록 상기 출력 신호 생성부를 제어하며, 상기 아크 발생 극성의 휴지기에 상응하는 출력 로스(loss)를 산출하고, 상기 산출한 출력 로스를 기반으로 극성별 출력 비율을 조정하도록 상기 출력 신호 생성부를 제어하는 것을 특징으로 한다.