반도체 소자의 방사선 평가 방법, 및 반도체 소자의 방사선 평가 시스템
A semiconductor device radiation test method, and a semiconductor device radiation test system
특허 요약
반도체 소자의 평가 시스템이 제공된다. 테스트 보드에 배치된 피시험 반도체 소자에 대해서 방사선 테스트 빔을 조사하여 상기 피시험 반도체 소자의 에러 값을 측정하는 상기 반도체 소자의 평가 시스템에 있어서, 상기 피시험 반도체 소자는, 기준 피시험 반도체 소자 및 일반 피시험 반도체 소자를 포함하고, 상기 반도체 소자의 평가 시스템은, 상기 기준 피시험 반도체 소자의 기준 에러 값, 및 상기 일반 피시험 반도체 소자의 기준 에러 값을 도출하되, 상기 일반 피시험 반도체 소자의 기준 에러 값은, 상기 기준 피시험 반도체 소자의 기준 에러 값에 대한 상대적인 비율로 정의될 수 있다.
청구항
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 테스트 보드(board)를 준비하는 단계;상기 테스트 보드의 테스트 영역 내에 피시험 반도체 소자를 배치하는 단계; 상기 테스트 보드의 상기 테스트 영역으로, 테스트 빔(beam)을 조사하여, 상기 테스트 빔에 의한 상기 피시험 반도체 소자의 에러 값을 측정하는 단계; 및상기 피시험 반도체 소자의 에러 값을 전달받고, 상기 피시험 소자의 에러 값을 분석하는 단계를 포함하되,상기 테스트 빔을 조사하는 단계는, 상기 테스트 빔이 조사되는 상기 테스트 영역 내의 빔 조사 영역이, 변경되는 것을 포함하는 반도체 소자의 평가 방법. |
