불산(HF) 계열 화합물; 계면 활성제; 산화제; 및 pH 완충제를 포함하는 유리 관통 비아(Through Glass Via, TGV) 공정용 식각 조성물로서,상기 불산 계열 화합물을 상기 유리 관통 비아 공정용 식각 조성물 100 중량부 기준 8 중량부 내지 23 중량부 포함하고, 상기 계면 활성제는 하기 식 1로 계산되는 HLB 값이 7.5 이상이고,상기 계면 활성제를 상기 유리 관통 비아 공정용 식각 조성물 100 중량부 기준 0.01 중량부 내지 0.15 중량부 포함하고,상기 산화제는 염산(HCl), 질산(HNO3), 황산(H2SO4), 과산화수소(H2O2) 및 과망간산칼륨(KMnO4)으로 이루어진 군에서 선택된 1 이상이고,상기 산화제를 상기 유리 관통 비아 공정용 식각 조성물 100 중량부 기준 0.5 중량부 내지 7 중량부 포함하고,상기 pH 완충제는 암모늄 화합물 및 유기산으로 이루어진 군에서 선택된 1 이상이고,상기 pH 완충제를 상기 유리 관통 비아 공정용 식각 조성물 100 중량부 기준 0.5 중량부 내지 25 중량부 포함하는,유리 관통 비아 공정용 식각 조성물:[식 1]상기 식 1에 있어서,Mw는 계면 활성제의 친수성기의 분자량의 총합이고,Mo는 계면 활성제의 친유성기의 분자량의 총합이다.