본 발명에 따른 기판의 비아홀 검사장치는 비아홀이 형성된 기판이 안착되는 작업 테이블부, 상기 작업 테이블부의 하부에 설치되고 상기 기판의 배면을 향해 빛을 조사하는 백라이트부, 및 상기 작업 테이블부의 상부에 설치되고 상기 작업 테이블부를 투과한 백라이트부의 빛이 조사되는 상기 기판의 검사영역을 촬영하는 카메라부를 포함하되, 상기 작업 테이블부는 상기 기판을 흡착하여 고정하는 기판 흡착층과, 상기 기판 흡착층의 하부에서 공기압에 의해 상기 기판 흡착층을 평탄하게 지지하는 공압 지지층을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.