투명한 검사판 상에 필름을 거치하며 상기 필름 주변으로 공기를 유동시키는 베이스플레이트, 상기 베이스플레이트의 상측에 구비되어 상기 베이스플레이트로 향하는 공기의 흐름을 안내하는 커버플레이트를 포함하고,상기 베이스플레이트는 베이스 중공을 형성하는 하우징, 상기 베이스 중공 주변을 따라 구비되며 상기 베이스플레이트의 상측으로부터 공기를 내부로 유입시키는 복수의 유도부를 포함하며, 상기 커버플레이트는 상부중공을 가지는 상부하우징, 상기 상부중공의 주변을 따라 형성되며 상기 상부중공 측의 공기의 흐름을 안내하는 안내부를 포함하고, 상기 유도부는 상기 하우징 내에서 상기 베이스 중공의 주변을 따라 형성되는 유동공간, 상기 유동공간과 상기 하우징의 상측을 연통시키는 유입홀, 상기 유동공간과 상기 하우징의 다른 일면을 연통시키는 유출홀을 포함하되, 상기 안내부는 상부하우징의 상부중공 측 일부분을 면취하여 형성되고, 상부중공과 유동공간이 유입홀을 통해 연통되어, 상기 필름은 상기 베이스 중공이 형성된 부분에서 상기 검사판 상에 거치되고, 상기 베이스플레이트 측으로 유동하는 공기는, 상기 필름 상측의 공기가 상기 안내부를 통해 상기 베이스 중공 주변의 유도부로 유입되어, 거치된 필름의 상측으로부터 상기 필름의 측면으로 유동하여 상기 필름을 상기 검사판에 밀착시키는 것을 특징으로 하는 검사장치용 필름 거치대.