플렉서블 기판을 지지하며, 승강 가능하게 구비되는 스테이지;상기 스테이지의 상부에 배치되며, 그 하부에 상기 플렉서블 기판에 대하여 마주보도록 구비된 벤딩된 플렉서블 필름을 정전기력으로 고정하고 곡률 반지름으로 라운딩진 곡면을 갖는 정전척;상기 정전척의 상부에 배치되며, 상기 정전척을 스윙 운동시키는 회전 구동부;상기 스테이지와 연결되며, 상기 스테이지를 승강 운동시키는 승강 구동부; 상기 회전 구동부 및 상기 승강 구동부 각각이 상기 정전척 및 상기 스테이지에 제공하는 구동력을 제어하여, 상기 곡률 반지름의 중심점을 기준으로 하는 상기 정전척의 회전각에 따라 상기 스테이지의 수직 높이를 조절할 수 있도록 하는 제어부; 및상기 스테이지 및 상기 정전척 중 어느 하나에 구비되어, 상기 플렉서블 기판 및 상기 플렉서블 필름 사이에 발생하는 압력을 측정하여 상기 측정된 압력에 관한 데이터를 상기 제어부에 전송하는 센싱부를 포함하고,상기 제어부는 상기 회전 구동부 및 상기 승강 구동부의 구동력을 제어하여, 상기 정전척의 회전 및 상기 스테이지의 승강을 동시에 구현하고,상기 제어부는 상기 스테이지의 상면의 수직 높이 및 상기 정전척의 최하점 사이의 간격을 일정하게 유지하도록 상기 회전 구동부 및 상기 승강 구동부의 구동력을 제어하고,상기 제어부는 상기 센싱부로부터 전송받은 압력 데이터를 이용하여, 상기 구동력을 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 합착 장치.