| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 커버와 제1세라믹 박막 및 상기 제1세라믹 박막과 다른 제2세라믹 박막이 적층되는 적층테이블;상기 적층테이블의 일측에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 제1세라믹 박막을 포함하는 제1세라믹시트를 공급하는 제1세라믹시트 공급부;상기 적층테이블의 타측에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 커버를 포함하는 커버부재를 공급하는 커버부재 공급부;상기 적층테이블의 후단에 위치하며, 상기 적층테이블에 적층되는 상기 제2세라믹 박막을 포함하는 복수개의 제2세라믹시트가 보관되는 트레이유닛;상기 트레이유닛으로부터 상기 제2세라믹시트를 공급받아 상기 적층테이블의 일측으로 이동시키는 제2세라믹시트 이동테이블;상기 제1세라믹시트 공급부와 상기 커버부재 공급부 및 제2세라믹시트 이동테이블 사이로 이동하면서 선택적으로 상기 제1세라믹 박막과 상기 커버 및 상기 제2세라믹시트를 흡착하여 상기 적층테이블의 상부로 이동시키는 흡착이동유닛; 및상기 제1세라믹시트 공급부, 상기 커버부재 공급부, 상기 트레이유닛, 상기 제2세라믹시트 이동테이블, 및 상기 흡착이동유닛의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 하이브리드 적층기. |