PRE-TREATMENT METHOD FOR DRY TRANSFER OF CHEMICAL VAPOR DEPOSTION
특허 요약
본 발명은 그래핀의 건식전사를 위한 전처리 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition)법으로 촉매금속필름에 증착된 그래핀을 전사필름으로 손상없이 용이하게 전사가 이루어지도록 CVD 그래핀에 전처리하는 CVD 그래핀의 건식전사를 위한 전처리 방법에 관한 것으로서, (a) 촉매금속필름에 그래핀을 증착하는 단계; (b) 상기 그래핀이 증착된 촉매금속필름에서 상기 그래핀 결함부분의 촉매금속필름을 산화시키는 단계; 및 (c) 상기 산화된 촉매금속필름 부분을 제거하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 CVD 그래핀의 건식전사를 위한 전처리 방법을 제공한다.
청구항
번호
청구항
1
(a) 촉매금속필름에 그래핀을 증착하는 단계;(b) 상기 그래핀이 증착된 촉매금속필름에서 상기 그래핀 결함부분의 촉매금속필름을 산화시키는 단계; 및(c) 상기 산화된 촉매금속필름 부분을 제거하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 CVD 그래핀의 건식전사를 위한 전처리 방법.