| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 레일(100); 및두 개의 평판(310)이 ㄱ 자 형상으로 상기 레일(100)을 감싸도록 결합되되, 상기 레일(100)에 대해 소정 간극을 이루면서 상기 레일(100)에 가이드되어 주행하는 슬라이더(300);를 포함하며,상기 평판(310)의 내부에는 유체가 유동하는 유로(311)가 형성되며, 상기 유로(311)와 연통되며 인서트(315)가 장착되는 공간을 제공하는 인서트 장착홀(313)이 상기 레일(100)을 대향하는 평판(310)의 내측면에 형성되며, 상기 유로(311)로부터 유입된 유체가 상기 레일(100)의 표면으로 분사되는 통로를 이루는 인서트(315)가 상기 인서트 장착홀(313)에 결합되어, 상기 슬라이더(300)는 상기 슬라이더(300)로부터 분사되는 유체의 압력에 의해 지지된 상태에서 상기 레일(100)의 길이방향을 따라 이동하는 것을 특징으로 하며, 상기 슬라이더(300)의 평판(310) 내측면에는 압축공기가 레일(100)을 향해 분사되는 양압영역(318)과 주위 공기를 흡입하는 음압영역(319)이 구획되어 구비되는 것을 특징으로 하고, 상기 레일(100)을 대향하는 슬라이더(300)의 내측면에는 중앙부에 음압영역(319)이 배치되고, 양측으로 양압영역(318)이 배치되는 것을 특징으로 하는, 리니어 스테이지 |