본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 처리 장치는, 기판을 지지하는 서셉터; 그리고 상기 서셉터의 상부에 설치되어 상부에 상기 기판이 놓여지는 커버 유닛을 포함하되, 상기 커버 유닛은, 하나 이상의 에어 갭을 가지는 커버프레임; 그리고 각각의 상기 에어 갭에 대응되는 형상을 가지고 각각의 상기 에어 갭에 실장가능한 하나 이상의 커버를 구비한다.