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반도체소자 테스트 소켓
Semiconductor Device Test Socket
특허 요약
본 발명에 따른 반도체소자 테스트 소켓은 반도체소자의 접촉 단자와 테스트장치의 접촉 패드 사이를 전기적으로 연결하고, 상기 접촉 패드에 접촉하는 하부 접점부와 상기 접촉 단자에 접촉하는 상부 접점부를 지지하기 위하여 탄성 변형이 가능하고 서로 분리되어 길이 방향으로 평행한 복수개 기둥으로 형성된 접점 연결부를 갖는 컨택터, 상기 컨택터 주위를 감싸서 내부 공간을 형성하고 전기적으로 접지된 차폐 구조물, 상기 컨택터 및 차폐 구조물을 지지하기 위하여 상기 내부공간에 채워진 탄성체를 포함한다.
청구항
번호청구항
1

반도체소자(20)의 접촉 단자(21)와 테스트장치(30)의 접촉 패드(31) 사이를 전기적으로 연결하고, 상기 접촉 패드(31)에 접촉하는 하부 접점부(110)와 상기 접촉 단자(21)에 접촉하는 상부 접점부(130)를 지지하기 위하여 탄성 변형이 가능하고 서로 분리되어 길이 방향으로 평행한 복수개 기둥으로 형성된 접점 연결부(120)를 갖는 컨택터(100);상기 컨택터(100) 주위를 감싸서 내부 공간(104)을 형성하고 전기적으로 접지된 차폐 구조물(103);상기 컨택터(100) 및 차폐 구조물(103)을 지지하기 위하여 상기 내부공간(104)에 채워진 탄성체(101);를 포함하되,상기 상부 접점부(130)는 평판형 상부 플레이트(131)의 상면에 돌출된 상부 팁(132)을 구비하고,상기 상부 팁(132)은 접촉 단자로서 범프 형태의 솔더 볼에 접촉하여 신호를 전달할 수 있는 십자 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체소자 테스트 소켓.