| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 피가공물에 대한 레이저 원형 가공 시스템으로서,레이저 빔을 방출하는 레이저 유닛;상기 레이저 빔의 진행경로에 배치되며, 상기 레이저 빔을 베셀 빔으로 변조하는 광학 유닛;상기 광학 유닛에 의해 변조된 베셀 빔을 피가공물로 반사시키며, 상기 베셀 빔의 위치를 선형 이동시키는 스캔 유닛;상기 스캔 유닛에서 반사된 베셀 빔의 초점을 피가공물의 가공면에 위치시키는 포커싱 렌즈; 및베셀 빔의 위치를 원주 방향으로 이동시켜, 피가공물에 대한 원형 가공이 수행되도록 하는 마이크로 가공 유닛을 포함하는, 레이저 원형 가공 시스템. |