| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 하드웨어 프로세서; 및상기 프로세서에 연결되고, 공정 분석 방법을 수행하도록 구성된 적어도 하나 이상의 컴퓨터 프로그램을 저장하는 메모리;를 포함하는 공정 분석 장치로서,상기 공정 분석 방법은,(a) 공정 과정에서 수십된 디지털 데이터를 공정 사이클에 따라 구역화하고, 구역화된 복수의 사이클 중 어느 하나의 기준 사이클을 선정하고, 기준 사이클 내 디지털 데이터의 리스트를 추출하고, 추출된 디지털 데이터의 순서에 따라 각각의 사이클에 해당하는 간트 차트 형태로 변환하는 단계;(b) 상기 구역화된 디지털 데이터의 각각의 사이클 동안 수집된 아날로그 데이터를 상기 구역화된 데이터와 매칭시키고 그래프 형태로 변환하는 단계;(c) 각각의 사이클에 해당하는 간트 차트와 그래프를 가진 하나의 이미지 데이터로 변환하는 단계;(d) 상기 이미지 데이터 중 정상 이미지 데이터만 이용하여 합성곱신경망으로 구성된 모델을 훈련시키는 단계; 및(e) 분석 대상 공정에 대해 상기 (a) 내지 (c) 단계와 동일한 과정을 거쳐 생성된 이미지 데이터를 훈련된 합성곱신경망모델에 입력하고, 상기 합성곱신경망모델에서 출력된 값을 이용하여 공정의 이상 여부를 판단하는 단계;를 포함하되,상기 (a) 단계는 공정 과정에서 수집되지 않은 디지털 데이터도 그 존재 여부가 표시되도록 간트 차트 형태로 변환하는 단계인, 공정 분석 장치. |