그 일 측에 센싱 프로브가 설치되는 본체 부재;상기 본체 부재의 타 측에서 상기 센싱 프로브를 향하는 쪽으로 슬라이딩 이동되어 상기 센싱 프로브를 밀거나 상기 센싱 프로브와 이격되는 쪽으로 슬라이딩 이동될 수 있는 푸싱 부재;상기 푸싱 부재의 말단부에 연결되고 상기 본체 부재의 외측 공간으로 돌출되되, 상기 푸싱 부재로부터 굽혀진 형태로 형성되고, 상기 푸싱 부재와 함께 이동될 수 있는 어댑터 부재;상기 어댑터 부재의 말단부에서 초정밀 측정 대상체를 향해 돌출되어, 상기 초정밀 측정 대상체에 접촉될 수 있는 접촉 팁 부재;상기 본체 부재에 고정되어, 상기 접촉 팁 부재가 상기 초정밀 측정 대상체 중 측정이 요구되는 부분으로 이동될 때 상기 초정밀 측정 대상체와 상기 접촉 팁 부재가 서로 이격되도록 상기 푸싱 부재를 상기 초정밀 측정 대상체와 상대적으로 이격되는 방향으로 밀어줄 수 있는 이동 동력 제공 부재; 및상기 본체 부재와 상기 푸싱 부재 사이에 배치되어, 상기 이동 동력 제공 부재에 의해 상기 푸싱 부재가 밀릴 때 복원력을 축적하였다가, 상기 이동 동력 제공 부재에 의한 상기 푸싱 부재의 밀림이 중지되면, 상기 접촉 팁 부재가 상기 초정밀 측정 대상체와 접촉될 수 있도록 상기 복원력에 의해 상기 푸싱 부재를 상기 초정밀 측정 대상체 쪽으로 밀어줄 수 있는 탄성 부재;를 포함하는 초정밀 측정 헤드 유닛.