특허 요약
본 발명은 일측면이 개방된 지그를 두른 도가니 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 일측면이 개방된 지그를 도가니는, 진공 챔버 내에 히터 구조체를 포함하고, 상기 히터 구조체 내에 도가니를 포함하며, 상기 챔버는 둥근 원통형 형태로 진공 상태를 유지할 수 있는 밀폐형으로 형성되며, 히터 단열부재는 반복적인 가열과 냉각에 열적 변형을 일으키지 않는 재질의 재료로서 구성되며, 상기 히터구조체 내부에는, 히터를 포함하되, 상기 히터로는, 전압 인가에 의하여 열을 발생시킬 수 있는 소재인 흑연을 사용할 수 있으며, 상기 도가니의 상단 개구부의 형태는, 원주의 가장 자리가 바깥쪽으로 벌어진 나팔 형태로 라운딩 처리되며, 상단 개구부의 하부는 평평한 곡면의 원통으로 Z축 방향으로 요철이 없는 매끈한 원주면을 갖는 형상이며, 상기 상단 개구부의 상부를 이루는, 나팔 형태의 상단 개구부의 하측에는 열을 흡수할 수 있는 탄탈륨(Ta), 텅스텐(W) 및 몰리브덴(Mo) 중의 어느 하나로 구성되어 열전도성과 연성이 좋은 재질의 금속이 상기 상단 개구부에 밀착되어 있으며, 상기 나팔부의 하면을 구성하는 원통형 부재의 라운딩면에는 상기 나팔부에 밀착되어 있는 상기 금속의 일측이 찢어진 형태로 형성되어 변형이 용이하면서도, 상기 도가니의 열적 변형을 유도할 수 있는 열을 흡수하여 열응력을 상쇄시킬...(이하생략)