표면 상에 웨이퍼가 안착될 수 있는 플레이트 바디부;상기 플레이트 바디부의 내부에 위치하는 히터부;상기 플레이트 바디부의 둘레를 따라 배치되고 서로 이격된 복수개의 웨이퍼 가이드 돌기부들을 포함하되, 상기 웨이퍼 가이드 돌기부들은 상기 플레이트 바디부의 중심점으로부터 동일 거리에 방사형으로 배치되어 있고;상기 플레이트 바디부를 관통하고 서로 이격된 복수개의 지지 핀홀들 포함하고, 상기 지지 핀홀들은 상기 웨이퍼를 상하 이동시킬 수 있는 지지 핀들이 상하 운동할 수 있게 구성되고; 상기 플레이트 바디부의 표면으로부터 돌출되게 설치되고, 상기 플레이트 바디부의 표면과 상기 웨이퍼가 서로 접촉되지 않게 구성된 웨이퍼 근접 볼들; 및상기 플레이트 바디부를 관통하여 방사형으로 배치된 상기 웨이퍼 가이드 돌기부들과 직접적으로 접촉하면서 설치되고, 상기 플레이트 바디부의 온도를 측정할 수 있게 서로 이격되어 방사형으로 배치된 복수개의 온도 센서들을 포함하는 것을 포토레지스트 베이크 장치의 핫 플레이트.