| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 기판(W)이 안착되고, 도포공정을 위해 공급되는 포토레지스트 약액에 대응하여 상하이동 및 회전하는 스핀헤드(11)가 구비되는 바디부(10); 상기 스핀헤드(11)와 인접하도록 바디부(10)에 설치되고, 상면에 다수의 슬롯홈(21)이 형성되는 스테이지부(20); 상기 스테이지부(20)의 슬롯홈(21)에 삽입되어 정렬 대기되도록 일단에 도킹헤드(31)가 구비되는 다수의 노즐부(30); 상기 스테이지부(20)에 대기되는 다수의 노즐부(30) 중 어느 하나와 체결되고, 노즐부(30)를 기판(W)과 대응하는 위치로 이송하도록 클램프부재(41)가 구비되는 노즐이송부(40); 및 상기 노즐이송부(40)에 설치되고, 클램프부재(41)에 체결된 노즐부(30)에 연결되어 약액을 공급하도록 주입포트(51)가 구비된 약액공급부(50);를 포함하고, 상기 스테이지부(20)와 노즐부(30)는 자력클램프모듈(60)에 의해 클램핑/언클램핑 작동되도록 구비되며,상기 노즐부(30)는 일단에 입구(32)가 형성되고, 타단에 출구(33)가 형성되고,상기 약액공급부(50)의 주입포트(51)는 클램프부재(41)에 체결된 노즐부(30)의 입구(32)와 대응하는 위치에 설치되고, 주입포트(51)는 제 1이송부(51a)에 의해 이동되어 노즐부(30)의 입구(32)와 연결/분리되도록 구비하되, 상기 주입포트(51)에 체크밸브 기능을 가진 자동커플러로 형성되어 노즐부(30)의 입구(32)와 연결 시 개방되고, 분리 시 폐쇄되도록 구비하고,상기 노즐이송부(40)는 스테이지부(20)에 대기되는 다수의 노즐부(30)와 독립적으로 체결되어, 각각의 노즐부(30)를 이용하여 서로 상이한 포토레지스트 약액을 도포하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 다종 약액 포토레지스트 노즐의 자동 교체 장치. |