지앤아이
표면검사를 위한 딥러닝 학습방법
Deep learning method for analyzing defectiveness
특허 요약
본 발명은 샘플수 분석장치에 관한 것으로, 샘플수가 수용되는 챔버; 상기 챔버에 빛을 조사하는 광원; 상기 샘플수에서 방출된 빛의 세기를 측정하는 센서부; 및 상기 센서부에서 측정값을 입력받는 제어부;를 포함하되, 상기 제어부는, 샘플수가 소정기준을 만족하는지를 분석한 정밀분석값과, 형광분석하여 측정된 피측정물질의 농도값을 포함하는 측정데이터를 입력하여 기계학습을 통해 생성된 모델데이터(model data)를 이용하고, 신규 샘플수를 형광분석하여 측정된 상기 피측정물질의 농도값을 상기 모델데이터와 비교하여 정밀분석 결과를 생성하도록 구성됨으로써, 인공지능 기계학습을 통해 보다 신속하고 정확한 분석결과를 제공하는 효과가 있다.
청구항
번호청구항
1

(a) 비전검사를 통해 제품 표면을 검사하고, 딥러닝을 통해 제품 표면을 검사하는 단계;(b) 딥러닝 검출 이미지와 비전검사 검출 이미지를 비교하는 단계 ; 및 (c) (b)단계에서의 비교결과에 따라 딥러닝 검출 이미지 또는 비전검사 검출 이미지를 딥러닝 학습에 사용하는 단계;를 포함하는, 표면검사를 위한 딥러닝 학습방법.