광자 검출 효율을 향상시킨 단일광자 검출장치를 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 기판 상에 버퍼층, 광 흡수층, 그레이딩층, 전기장 조절층 및 윈도우층이 순차적으로 적층되는 단일광자 검출장치에 있어서, 상기 윈도우층 내에 형성되는 활성영역과 상기 활성영역에 전원을 공급하기 위해, 상기 활성영역 상부에 형성된 애노드 전극과 상기 활성영역이 형성된 윈도우층 상으로 직접 접합되는 �칭 저항 및 상기 �칭 저항 상에 형성되는 금속 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 단일광자 검출장치를 제공한다.