광전자(주)
광대역 반사층을 가지는 광소자 및 그 제조 방법
An optical element having a broadband reflective layer and a manufacturing method thereof
특허 요약
본 발명은 광대역 반사층을 가지는 적외선 발광 다이오드 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광대역 분산 브래그 반사층을 가지는 적외선 발광 다이오드 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
청구항
번호청구항
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제1 고굴절율층과 제1 저굴절율층이 반복 적층된 제1 DBR과;제2 고굴절율층과 제2 저굴절율층이 반복 적층된 제2 DBR과;제3 고굴절율층과 제3 저굴절율층이 반복 적층된 제3 DBR과; 상기 제1 DBR과 제2 BDR 사이에 위치하는 제1 이격층과; 및상기 제2 DBR과 제3 DBR 사이에 위치하는 제2 이격층을 포함하며,여기서, 상기 이격층들은 DBR에서 에피텍셜하게 성장된 에피 성장층인 것을 특징으로 하는 광대역 DBR.