마이크로 프로브 팁;상기 마이크로 프로브 팁이 연결되는 프로브 팁 헤드부;상기 프로브 팁 헤드부 상측에 형성되어 전기적 특성 측정을 제어하고, 수직 떨림을 방지하는 제어부재; 및상기 마이크로 프로브 팁의 위치를 모니터링 하기 위해 위치 검출 센서를 포함하는 모니터링부;를 포함하는 접촉력 제어 기능이 개선된 마이크로 웨이퍼 프로브.

제1항에 있어서,상기 제어부재는,상기 프로브 팁 헤드부 상측에 일단이 부착되는 금속바;상기 금속바 타단에 형성되는 자석부재; 및상기 자석부재를 감싸는 원통형으로 형성되는 보이스 코일;을 포함하는 일체형으로,상기 제어부재는 2개 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 접촉력 제어 기능이 개선된 마이크로 웨이퍼 프로브.

제2항에 있어서,상기 금속바는 수평 금속바 및 수직 금속바를 포함하는 ㄱ자 형태이고,상기 제어부재는 직렬 또는 병렬로 연결되고,상기 보이스 코일은 제1 보이스 코일 및 제2 보이스 코일을 포함하며,상기 제1 보이스 코일은 나노에서 마이크로 스케일의 접촉력 제어를 담당하고,상기 제2 보이스 코일은 마이크로에서 매크로 스케일의 접촉력 제어를 담당하는 것을 특징으로 하는 접촉력 제어 기능이 개선된 마이크로 웨이퍼 프로브.

제3항에 있어서,상기 제2 보이스 코일의 금속바는 상기 제1 보이스 코일의 금속바보다 길게 형성되어 더 높은 모멘트를 발생하는 것을 특징으로 하는 접촉력 제어 기능이 개선된 마이크로 웨이퍼 프로브.