대상체의 온도 및 셔터의 온도를 측정하는 온도 측정 모듈;기판의 온도를 측정하는 온도 센서 모듈;측정된 상기 셔터의 온도, 측정된 상기 기판의 온도 및 셔터의 온도 보정값 - 상기 셔터의 온도 보정값은 셔터의 실제 온도와 측정된 상기 기판의 온도간의 차이임 - 을 이용하여 노이즈에 의한 온도를 연산하는 노이즈 온도 연산 모듈; 및측정된 상기 대상체의 온도에서 연산된 상기 노이즈에 의한 온도를 감산함으로써 상기 대상체의 온도를 보정하는 온도 보정 모듈;를 포함하는, 셔터를 이용한 대상체의 온도 보정 장치.

제1항에 있어서,상기 노이즈 온도 연산 모듈은, 하기 수학식:에 따라 노이즈에 의한 온도를 연산하며, 여기서 Tnoise는 노이즈에 의한 온도, Tsm은 측정된 셔터의 온도, Tsg는 측정된 기판의 온도, △Ts는 셔터의 온도 보정값인, 셔터를 이용한 대상체의 온도 보정 장치.

제2항에 있어서,상기 셔터의 온도 보정값은, 하기의 수학식:에 따라 구하며, 여기서 Tsm은 측정된 셔터의 온도, Tsg는 측정된 기판의 온도, Tbsm은 측정된 흑체의 온도, Tbs는 기지의 흑체의 온도인, 셔터를 이용한 대상체의 온도 보정 장치.

제1항에 있어서,상기 온도 측정 모듈은,대상체 또는 셔터에 의해 조사된 적외선에 의한 출력 전압을 제공하는 적외선 센서 모듈;흑체의 기준 설정 온도에서 구한 기판의 온도 대비 출력 전압간의 제1 함수 - 상기 제1 함수는 상기 흑체의 온도를 기준 설정 온도로 고정시킨 상태에서 상기 기판의 온도 대비 출력 전압을 커브 피팅을 통해 구한 함수임 - 를 이용하여, 상기 출력 전압으로부터 상기 기판의 온도와 상기 기판의 기준 설정 온도간의 차이에 따른 출력 전압의 변동분을 감산함으로써, 상기 출력 전압을 상기 기판의 기준 설정 온도에서의 출력 전압으로 보상하는 기판 온도 보상 모듈; 및상기 기판의 기준 설정 온도에서 구한 출력 전압 대비 흑체의 온도간의 제2 함수 - 상기 제2 함수는 상기 기판의 온도를 기준 설정 온도로 고정시킨 상태에서 상기 출력 전압 대비 흑체의 온도를 커브 피팅을 통해 구한 함수임 - 를 이용하여, 보상된 상기 출력 전압으로부터 상기 대상체 또는 셔터의 온도를 구하는 온도 연산 모듈;을 포함하는, 셔터를 이용한 대상체의 온도 보정 장치.

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제4항에 있어서,상기 적외선 센서 모듈은,제1 바이어스 전압을 공급하는 제1 바이어스 전원;상기 제1 바이어스 전압의 크기보다 작은 크기를 가지는 제2 바이어스 전압을 공급하는 제2 바이어스 전원;일단이 상기 제1 바이어스 전원에 직렬 연결된 레퍼런스 셀;일단이 상기 레퍼런스 셀의 타단에 연결되며, 타단은 접지에 연결된 액티브 셀; 및(-) 단자는 상기 레퍼런스 셀과 상기 액티브 셀의 연결 노드에, (+) 단자는 상기 제2 바이어스 전원에 연결되며, 상기 액티브 셀을 흐르는 전류의 증가량을 적분한 출력 전압을 제공하는 적분기;를 포함하는, 셔터를 이용한 대상체의 온도 보정 장치.

제8항에 있어서,상기 제1 바이어스 전압 및 제2 바이어스 전압은,상기 기판의 기준 설정 온도 및 상기 흑체의 기준 설정 온도에서 상기 출력 전압이 기 설정된 값이 되도록 하는 크기를 가지는, 셔터를 이용한 대상체의 온도 보정 장치.

온도 측정 모듈에서, 대상체의 온도 및 셔터의 온도를 측정하는 제1 단계;온도 센서 모듈에서, 기판의 온도를 측정하는 제2 단계;노이즈 온도 연산 모듈에서, 측정된 상기 셔터의 온도, 측정된 상기 기판의 온도 및 셔터의 온도 보정값 - 상기 셔터의 온도 보정값은 셔터의 실제 온도와 측정된 상기 기판의 온도간의 차이임 - 을 이용하여 노이즈에 의한 온도를 연산하는 제3 단계; 및온도 보정 모듈에서, 측정된 상기 대상체의 온도에서 연산된 상기 노이즈에 의한 온도를 감산함으로써 상기 대상체의 온도를 보정하는 제4 단계;를 포함하는, 셔터를 이용한 대상체의 온도 보정 방법.

제10항의 방법을 수행하기 위한 프로그램을 기록한, 컴퓨터로 독출 가능한 기록 매체.